绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 SMEC F3 10~30K 及 F3 30~100K 厂务 CUS 系统扩充工程为绍兴中芯集成电路（半导体制造企业，生产 12 英寸晶圆）F3 厂房厂务系统扩充项目。工程主要升级 CUS（化学用品供应系统）：新增 2 套化学药液输送设备（供应光刻胶、显影液，精度达 1ppb）、3 套废气处理设备（采用 RTO 焚烧技术，处理效率 99%），及智能监控系统（实时监测药液浓度、废气排放），满足 F3 厂房 10~30K（千级洁净室）、30~100K（万级洁净室）产能提升需求（从月产 5 万片增至 8 万片）。项目 2024 年完工后，保障半导体芯片生产过程中化学用品稳定供应（无泄漏、无污染），支撑企业产能扩张，服务长三角芯片设计企业（如韦尔股份、士兰微）。